中微半导体设备(上海)股份有限公司
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产品详情
PRISMO D-BLUE®MOCVD设备
PRISMO D-BLUE®MOCVD设备的图片
参考报价:
面议
品牌:
中微公司
关注度:
17
样本:
暂无
型号:
PRISMO D-BLUE®MOCVD设备
产地:
上海
信息完整度:
典型用户:
暂无
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名 称:中微半导体设备(上海)股份有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

中微具有自主知识产权的MOCVD设备可配置多达4个反应腔,可以同时加工232片2英寸晶片或56片4英寸晶片,工艺能力还能延展到生长6英寸和8英寸外延晶片。每个反应腔都可以独立控制,这一设计可以实现优异的生产灵活性。PRISMO D-BLUE®是首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED和功率器件外延片生产的国产MOCVD设备。

PRISMO D-BLUE®

首台被主流LED生产线采用并进行大批量LED外延片生产的国产MOCVD设备

产品特点

可独立控制的反应腔运行模式

自主的实时监控系统

精准的参数控制

全自动化处理

符合半导体标准的软件控制系统

竞争优势

优异的工艺重复性,简化工艺调整需求,提高产品良率

19英寸大尺寸托盘极大地提高了设备单位产能,降低了生产成本

集成顶盖升降机构,简化设备维护,提高设备利用率

符合SEMI S2安全标准,提升设备的安全性能


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