应用场景
传统方法局限性
微波PLASMA优势
光刻胶去除
耗时、化学污染
快速、无化学残留
芯片封装处理
高温损伤、均匀性差
低温操作、高均匀性
刻蚀工艺
精度不足、材料限制
纳米级精度、多材料兼容