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产品简介
P21R 系列(质量流量控制器/质量流量计)是高精度控制和测量气体质量流量的产品，
采用层流压差式技术原理，实现多气体、多量程、高精度、快速响应的流量控制。
高精度±1%S.P./±0.2%F.S.
多量程，适用范围 1sccm~200 SLM
多气体，可支持 400 多种气体
可定制通讯模式、屏幕显示、机械接口
适用于各类高端工艺制程
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