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碳化硅PVD载盘经等静压工艺成型、高温烧结而成。亦可根据用户设计图纸要求进行外径、厚度尺寸,穴位数量、尺寸、取片槽位置和形状进行精加工,以满足用户的具体使用要求
特点和优势
高致密性
良好的导热性、低膨胀系数和均温性能
耐电浆冲击性
耐各种强酸强碱化学试剂腐蚀
经过半导体级别清洗
企业名称
山东华信工业科技有限公司企业类型
信用代码
91370705MA7LY630XH法人代表
注册地址
成立日期
注册资本
有效期限
经营范围
400-810-0069转8002
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