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ISDC黑体面阵源+黑体系统+黑体辐射源
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相关仪表
Infraredsystems红外辐射前置放大器
固润光电LA-150 DC手动探针台
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标定活细胞成像系统
危险化学品检测专用仪器
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产品系列
PS4L 全自动探针台
SemiProbe是美国一家**的专业探针台研发与制造公司,拥有多项**技术,提供完整的所有探针测试的产品与解决方案。其产品包括全自动,半自动,手动探针台,MEMS测试探针台,双面测试,超低温,高真空探针台等等。SemiProbe 设计制造创新性模组化探测检测系统,客户遍及世界各地,其中包括大专院校、政府科研实验室、各类半导体制造公司、涉及微机械、纳米技术、光电技术、光伏技术等领域,为科研以及制造提供经济高效、实用、扩展性强的探测系统。同时SemiProbe还为用户提供强有力的技术支持,可针对用户的具体应用需求,定制相对应的产品和技术方案。
我们有可以解决您所面临问题的一套**的方案,PS4L 全自动探针台是基于SemiProbe可适应性机构**研发的一套系统,与传统检测系统不同,PS4L 全自动探针台所有的基础组件:基座、平台、夹具、显微镜装置、显微镜移动、光学部件、操纵装置等,都是可以更换的。这些特征使得PS4L 全自动探针台可适应不同应用需求,并且成为节省经费的**选择。这种独特的设计能够准确满足客户的要求,更重要的是,PS4L系统能够进行现场升级,以适应环境测试条件的改变。PS4L系统的设计理念,与传统检测设备相比,能够让客户节约更多时间,更多成本。
凭借60年的实践经验,美国品牌SemiProbe可以迅速为您提供各种定制化方案,以解决不同的难题。我们的宗旨就是让客户使用*少的资金获得**的技术、更及时的响应市场需求。
SemiProbe产品的独特优点有:
1.SemiProbe****技术的模块化结构设计,可以使探针台在一个基本平台的基础上不断的进行升级,且升级可在客户现场进行,机台不需返厂。其中PS4L系列产品,可以在PS4L基础平台上,由手动探针台升级为半自动探针台,半自动探针台升级为全自动探针台,或者由6''升级为8'',8''升级为12'',增加密闭测试仓,增加高低温等等。这些独特的优点,目前在业界独此一家。
2.SemiProbe的产品,全部都在美国本土设计制造。
3.SemiProbe的另外一个优点是直流探针座和RF探针座通用,用户只要一种探针座,换上直流或RF探针,即可做不同的测试,既方便又节省成本。目前业界其他公司的产品,多数直流探针座和RF探针座是不一样的,并且价格昂贵,无法通用。其超高精度的亚微米级探针座,保证了高端精密测试的需求。
产品优势:
1.可满足**18英寸的晶圆基底的测试要求,并能兼容处理12/8/6/4英寸硅片及碎片。
2.主要应用领域:器件性能、MEMS、光电子学、纳米研究、光伏电池、失效分析及材料等相关领域。
3.可做直流和微波测试。
4.系统可在客户现场升级。
5.可增加高低温及屏蔽系统
6.手动探针测试方式,扎针对准方式灵活。
7.可方便搭载loadpull, 激光测振及电学信号测试等不同的外围设备。
8.可搭载各种规格探卡。
9.主要部件可依据实际要求定制。
PS4L 全自动系统
1.可选尺寸:100 mm (FA-4), 150 mm (FA-6), 200 mm (FA-8), 300 mm (FA-12)
2.模块化结构设计的硬件和软件
3.所有的基础组件:平台,夹盘,光学组件和终端操纵装置都是可以更换的。
4.可现场进行升级
5.便携式MHU—可移除,移动,对接到任何一台PS4L半自动系统从而添加自动化功能
6.可选各种各样全面化的光学附件和升级装置
PS4L 全自动探针系统
SemiProbe的PS4L 全自动探针系统是模块化结构设计*明显和*灵活的自动探针台。它采用了SemiProbe****技术Probe System for Life (PS4L)可适应性结构设计,提供了****的灵活性和大大地为客户节省了资金费用。PS4L自动探针系统可满足客户对精准的规格参数的要求。
主要特征:
1.同一系统可符合多种应用需求—— DC,高频率,OPTO,MEMS以及更多
2.有三种操作模式可选:全自动( 24/7)、半自动和手动
生产和分析性能
3.可处理2、3、4和6英寸的晶圆和基底
可现场升级更大的尺寸
4.可处理die,晶圆和帧上晶圆,有两个终端操纵装置
5.可处理薄和弯曲的晶圆- 50 um 到70 um
硅和III-V族化合物
6.可选多个盒子,一般是两个
7.灵活的PILOT控制软件包- 自动晶圆和芯片对准,Z高度探测和分析,晶圆形貌,界面和更多。
8.多种选择-热夹盘,光学部件,CCTV系统,条形码阅读器,OCR,操纵器,探针卡和更多。
9.模块化设计-PS4L探测系统具有****的灵活性
技术参数
尺寸: | 750 mm x 650 mm x 1930mm (29.5” x 25.4” x 76”) (W,H,L) – with optics |
重量: | 410 Kg (900 lbs.) |
夹盘平台X-Y移动: | Travel: 155 mm x 155 mm Speed: 100 mm/sec (max) Resolution: 0.1 μm Repeatability: +/- 1.0 μm Accuracy: +/- 2 μm Planarity: +/- 8 μm over travel range Nema 17 stepper motor Optical linear encoder |
夹盘平台Z移动: | ZTravel: 12 mm Resolution:0.5 μm Repeatability:+/-1 μm |
Theta移动: | Travel:+/-8 degrees (User specified) Resolution:0.29 arc-secs, (0.00001 degrees) |
夹盘: | Roundor square with rings or holes, ambient, thermal and custom with lift pins Handledie, waffle packs, sawn wafers on frame, broken wafers and full wafers up to150 mm Nickelplated steel with concentric vacuum rings (standard), other plating materialsavailable Planarity:8 μm |
压盘: | Aluminumwith stainless steel top 360degree manipulator placement Manipulatorfixation – magnetic, vacuum |
压盘移动: | PlatenLift: Choice of fixed or adjustable Adjustable:coarse 40 mm, fine 200 um |
显微镜安装/移动: | Mounting – Boom, Post or Bridge Movement – Manual or Programmable – 50 x 50 mm, 50 x 75 mm, 100 x 100 mm |
光学: | StereoZoom, Zoom Tube, A-Zoom or Compound Microscope |
其它工具: | Power: AC 110/220V AC 50-60 Hz 20A Vacuum: 23 Hg or -0.8 bar |
备注:规格参数的数值取决于探针系统的配置和配件要求