手机版 |
产品分类 |
其他
Ecopia HMS-3000霍尔效应测试仪
Ecopia HMS-3300高温霍尔效应测试仪
Ecopia HMS-5000全自动变温霍尔效应测试仪
Ecopia HMS-7000光霍尔效应测试仪
真空快速退火炉(RTP)
RTP-100-RP快速退火炉(中温/低价位)
大尺寸快速退火炉(12英寸) - 适合光伏样品
EPS-300手动探针台
EPS-1000探针台
SPS-2200手动探针台
半导体行业专用仪器
喷射化学气相沉积设备(Spray CVD)
石墨烯生长炉
低压化学气相沉积系统(LPCVD)
二维材料生长设备(MoS2, h-BN, CNT等)
快速热化学气相沉积系统(RTCVD)
金属有机化学气相沉积系统(MOCVD)
光刻机
等离子去胶机
匀胶机,旋涂仪
半自动球焊机,焊线机(Wire Bonder)
制冷设备
液氦液氮低温恒温器(开循环)
闭循环致冷机、低温恒温器
超低振动闭循环致冷机(3~5纳米振动水平)
超高真空闭循环致冷机
顶端装样方式低温恒温器(Top Loading)
ARS气体混合低温恒温器
制样/消解设备
反应离子刻蚀机RIE
Harrick Plasma等离子清洗机
离子束刻蚀系统IBE
光刻机/紫外曝光机(Mask Aligner)
等离子体热处理炉
电化学仪器
WEP CVP21电化学C-V剖面浓度分析仪- ECV Profiler
QCM-I耗散型石英晶体微天平
OWLS光波导模式谱仪
比表面积测定仪
SKP5050扫描开尔文探针系统
Rame Hart接触角测量仪
测厚仪
光反射薄膜厚度测量仪
光谱检测分析仪
激光拉曼光谱仪
光学仪器及设备
光谱型椭偏仪Ellipsometer
包装行业专用仪器
MEMS用高真空密封机
相关仪表
变场磁体Variable Flux Magnet
联系方式 |
产品系列
产品描述
仪器特点:
腔体材料:不锈钢,铝,或者Bell Jar;
分子泵:70,250,500 l/sec; 一级泵:机械泵或干泵;
13.5MHz, 300-600W射频电源;1KW直流电源;
QCM在线厚度测量,厚度分辨率<0.1nm;
带有观察窗的门,方便样品取放;
Labview软件,PC控制;
多重密码保护;
全安全互锁设计;
选配功能:
向上,向下,侧向溅射;
射频,直流、脉冲直流溅射;
共溅射,反应溅射;
组合溅射;
射频、直流偏置(1000V);
基底加热:不高于700摄氏度;
厚度监控;
基底射频等离子清洗;
Load-Lock,以及自动样品取放;
不同型号选择:
NSC系列,立式磁控溅射系统;
NSC系列,立式紧凑磁控溅射系统;
NSC系列,台式磁控溅射系统;
双腔体系统,NSR系列,磁控溅射+反应离子刻蚀(RIE);
双腔体系统,NSP系列,磁控溅射+PECVD;
双腔体系统,NST系列,磁控溅射+热蒸发;