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产品简介
桌面单点测量
低成本的台式少子寿命测量系统，对不同制备阶段的硅材料电学参数进行表征。没有内置自动化。可选配手动z轴，用于厚度在156毫米以下的晶锭。
MDPspot可配电阻率测试选项。仅适用于硅，用于晶圆片，也可用于晶锭。
结果可视化的标准软件。
特性
无接触和非破坏的电学参数测试
对外延工艺监控和不可见缺陷检测，具有可视化测试的**分辨率
对于不同级别晶圆片，提供不同的菜单选项
优势
用于不同制备阶段，从成体到*终器件，多晶硅或单晶硅单点测量载流子寿命的台式装置。体积小，成本低，使用方便。拥有一个基本的软件，结果可视化。
适用于晶圆片到晶锭，易于高度调整。
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