规格:
罗茨旋片机组
抽气速率(L/S)
极限真空
主泵
中间泵
首级泵
配用功率
进气口径
排气口径
JZJ-70
70
0.5pa
ZJ70
/
2x-8
3(1.1)
80
50
JZJ-150
150
ZJ150
2x-30
3(3)
100
JZJ-300
300
ZJ300
2x-70
4(5.5)
200
160
JZJ-600
600
ZJ600
5.5(5.5)
JZJ-1200
1200
ZJ1200
2x-70=2
22
JZJ1200B
0.1pa
20.5