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双温区滑轨式CVD系统 CVD1200C-II-SL 200D50

双温区滑轨式CVD系统 CVD1200C-II-SL 200D50
  • 品牌:康帕因
  • 产地:安徽
  • 关注度:615
  • 型号:双温区滑轨式CVD系统 CVD1200C-II-SL 200D50
  • 报价:面议
  • 信息完整度:
核心参数
    产品介绍

    设备描述

    CVD1200C-II-SL  200D50-5Z 双温区滑轨式CVD系统由双温区滑轨炉、质子流量控制系统、真空系统三部分组成。双温区滑轨炉可移动并可实现快速升降温;PLC控制5路质子流量器,能够精确控制系统的供气;真空泵可实现对管式炉快速抽真空。CVD(化学气象沉积系统)常用于表面材料生长、沉积,是一款实验室常用设备

    技术参数










     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

    双温区滑轨炉LFT1200C-II 200D50-5Z

    炉体结构

     该设备采用双层壳体并带有风冷系统,使其炉体表面温度都小于55℃

     炉底安装一对滑轨,可手动滑动以便满足特殊工艺的快速升降温的求。

    炉管尺寸

    Φ50/60/80/100×1400mm(可提供特殊定制。)

    功率

    5kW

    输入电压

    220VAC 单相 50/60Hz

    加热元件

    Cr27Al7MO2(掺钼铁铬铝合金)

    **温度

    **温度:1200℃ 

    额定温度:1100℃

    升温速率

     ≦10℃/min(推荐)

    加热区长度度

        两个加热区的长度都是200mm

        分别由独立的温控系统控制

    恒温区长

         100+100mm(±1℃)

         可获得较长恒温区间

    控温精度

         ±1℃

    快速连接法兰

         Φ50快结式不锈钢真空法兰

         打开法兰直接卸下卡箍即可,取放样品方便
      另配备有可调节高度的法兰支架



     

     

     

    五路质子流量控制系统

    MFC-5Z


    电压

     220VAC  单相  50/60Hz

    针阀材质

     316不锈钢

    量程

     50sccm、100sccm、500sccm、500sccm、500sccm(可根据工艺要求提供多种量程选择)

    工作温度

     5~45℃

    外型尺寸

     600(L) x 600(W) x 700(H) mm

    电压

     AC220V/50Hz单相

    功率

     23W



     

     

    真空系统

    LVU-10

    壳体尺寸

         600 (L) x 600 (W) x 700(H)mm

    **承载量

         1000 Lbs 

    抽气速率

          10m³/h

        极限真空度:10-1Pa

        双层立式油污过滤器(PE材质)与真空泵连接

    质保期

    一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈加热元件等易耗件





    使用注意事项

         炉管内气压不可高于0.02MPa     

        当炉体温度高于1000时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

        石英管的长时间使用温度<1100

        对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)


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    • 双温区滑轨式CVD系统 CVD1200C-II-SL 200D50的工作原理介绍?
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    工商信息

    企业名称

    合肥康帕因设备技术有限公司

    企业类型

    信用代码

    91340103MA2ND12N6H

    法人代表

    注册地址

    成立日期

    注册资本

    有效期限

    经营范围

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