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产品描述
ZEM-5 Series塞贝克系数/电阻测量系统可以对高温材料,高电阻材料,薄膜材料等多种材料进行测量。
应用:
评估半导体、陶瓷、金属等材料的热电性能。
特性:
1. 应用于各种材料的特性及特殊规格的薄膜等;
2. 测试Si系列(SiGe, MgSi). (HT 型) 的材料的**温度传感器是使用C型热电偶;
3. 标配V-I图自检测系统;
4. **测试温度1200℃(HT 型);
5. **测量电阻10MΩ(HR 型);
6. 测量在衬底上的热电沉积膜(TF 型);
7. 温控范围在-150℃~200℃(LT 型);
设备参数:
型号 | ZEM-5HT | ZEM-5HR | ZEM-5LT | ZEM-5TF |
特点 | 高温 | 高电阻 | 中低温 | 薄膜 |
温度范围 | 100~1200℃ | 50~800℃ | -150~200℃ | 50~500℃ |
工作气氛 | 低压He气 | |||
试样尺寸 | Square 2-4 mm or φ2-4 mm × 3-15 mm L | 基质沉积: 2-4 mm W × 0.4-1.2 mm t × 20 mm L 薄膜厚度:纳米级或更厚 ※试样和基底之间需要绝缘层; |
Seebeck系数测量方法 设备参数(HT型)