天津中环电炉股份有限公司
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产品详情
1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统
1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统的图片
参考报价:
20-30万元
品牌:
中环
关注度:
2440
样本:
暂无
型号:
1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统
产地:
天津
信息完整度:
典型用户:
暂无
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认证信息
金牌会员 第 2
名 称:天津中环电炉股份有限公司
认 证:工商信息已核实
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产品简介

 产品用途:

产品专业性:

PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,而等离子体化学活性很强,很容易发生反应,在基片上沉积出所期望的薄膜。

 

产品组成:

PECVD系统配置:

1.1200度开启式双温区真空管式炉

2.等离子射频电源

3.多路质量流量控制系统

4.真空系统(可选配中真空或高真空)  

 

产品特点:

生长温度低;沉积速率快;成膜质量好,适用范围广,设备简单。

 



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