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日本 ANELVA M-431HG 真空计控制器 溅射腔室宽量程真空测量联锁方案
秋山工业 2026/10/19 | 阅读:18
产品配置单: 方案详情:
行业痛点:粗抽到高真空跨度大,单量程仪表需人工换档,容易在切换瞬间漏掉压力变化;普通控制器接口不全,难以接入产线通信;规管灯丝在压力回升时失去保护,频繁氧化烧毁,更换成本高;采购时控制器与规管、电缆错配,现场无法联机。
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