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产品简介
MSE-3200S 全自动移动式高性能氦质谱检漏仪
岛津氦质谱检漏仪搭载了新型的CPU，采用专用的分流泵及中间排气系统，实现了**的低BG恢复性能和操作性。
产品信息
主要特点
检出灵敏度：10-13-100Pa m3/s (He)
**的BG恢复性能和操作性
大屏幕液晶显示面板，操作简单
分析管采用长寿命的镀氧化钍铱灯丝（内置两根）
搭载大排量的粗抽真空泵，提高了作为通用机应具备的稳定性和可靠性
对大泄漏工件也可以进行检漏测试
应用领域
半导体和平板显示器制造
LED制造
镀膜设备
制冷设备和空调的元件及部件
低温压力容器
阀门气密性
捡漏航空部件，配件及系统
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