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等离子清洗机的八大应用方面你了解几个?

浚和(上海)仪器科技有限公司  2023-05-26  点击284次

等离子清洗机

等离子清洗机在半导体、电子材料干式清洗中的应用越来越广泛,如硅胶片的光刻胶剥离、除去有机膜、界面活性化、微细研磨、除去碳化膜等领域,等离子产品都发挥了积极的作用。


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从研究开发到工艺生产使用,从表面微细加工到表面处理改质,等离子设备有着很广的社会应用需求。在多个领域也都有普遍应用。


应用行业

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1 半导体相关:


晶圆光阻附着力的提高;晶圆光阻的去除(灰化);晶圆光阻残留物去除;MEMS叠加强度的提高LED。


2 光学相关:


镜片粘连、除雾;涂装前处理;眼镜镜片涂装前处理;隐形眼镜亲水性提高。


3 生物、医用相关:


微芯片强度提高;微芯片流道亲水性提高;导管、导管针粘连强度提高。


4 低温灰化:


石棉分析前处理;设备分析用前处理。


5 FPD相关:


液晶屏粘合强度提高;保护、偏光板附着力提高等。


6 IC/LED组装相关:


基板电极部引线键合强度提高;芯片叠合(芯片粘连)粘连性提高;基板封装(成型粘)连性提供;树脂底部通孔残留物的去除(胶渣)。


7 新材料:


高分子材料粘合强度提高;高分子材料涂装前处理;粉体样品粘合、形成前处理。


8 机电一体化:


液晶屏粘合强度提高,保护、偏光板附着力提高等。

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