在半导体、精密化工、电子制造等行业，微量流体的稳定输送与精准控制，是保障制程良率与工艺一致性的关键环节。日本 TOKYO KEISO（东京计装）CLFC300 系列一体式超声波流量控制器，以一体化集成设计、高速响应控制与强抗干扰能力，成为高纯度药液、超纯水及浆料输送场景的核心设备。

核心优势

• 一体化集成设计，安装便捷省空间：将超声波流量检测器、控制阀、演算控制电路集成于一体，无需额外管路与配件，大幅简化安装流程，适配设备内嵌与狭小空间布局。

• 高速响应闭环控制，流量稳定精准：搭载高性能 DSP 信号处理芯片，阶跃响应时间≤1.5 秒，可快速跟踪并稳定至设定流量，±0.2% FS 的高精度，满足半导体制程的严苛控制要求。

• 强抗气泡设计，复杂流体适配广：优化的超声波时差法算法，显著提升抗气泡干扰能力，纯水、化学品、CMP 浆料等流体均可稳定测量，降低断流、误判风险。

• 轻量化机身，耐用免维护：相比上代产品体积缩小 20%、重量减轻 35%，便于搬运与安装；夹管阀采用耐腐耐磨材质，长期使用无泄漏风险，维护成本低。

• 多信号输出，数据可追溯：支持脉冲、报警、4-20mA 电流输出，可选 RS485 通信接口，可与上位机联动，实现流量数据实时监控与记录，满足工业质控溯源需求。

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关键参数

• 品牌：TOKYO KEISO（东京计装，日本）

• 型号：CLFC300-T11-201-D1-NHO

• 测量原理：超声波时差法

• 流量范围：200–2000mL/min（药液 / 纯水）

• 测量精度：±0.2%FS

• 重复性：±0.1%FS

• 响应时间：≤1.5 秒

• 流体温度：10–50℃

• 工作压力：≤0.4MPa

• 供电方式：DC24V±10%

• 接触液材质：PFA/PTFE

• 连接方式：φ1/4” 标准接口

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典型应用场景

• 半导体制造：CMP 设备浆料定量供给、超纯水流量控制、蚀刻 / 清洗药液精准配比。

• 精密化工：实验室微量药液定量输送、高纯度试剂闭环流量控制。

• 电子 / 光伏行业：晶圆制程药液恒流控制、超薄材料制备流体输送。

• 医疗 / 生物领域：高纯缓冲液、试剂精准分配，满足无菌无交叉污染要求。