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CVD化学气相沉积系统 高端薄膜制备核心装备

CVD化学气相沉积系统 高端薄膜制备核心装备
中环电炉  2026-08-05  |  阅读:49 400-810-0069转5930

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CVD系统是新材料、精密制造领域的关键工艺设备,利用化学气相反应技术,在各类基材表面生成均匀、致密、高强度的功能性薄膜,覆盖绝缘、钝化、耐磨、耐高温、导热、生物兼容六大核心性能。

可用于这些方向:

🔹半导体微电子:制备各类介质薄膜、钝化层,用于功率器件、MEMS 器件研发

🔹光伏新能源:电池钝化、减反薄膜工艺开发,适配 TOPCon、HJT 电池实验

🔹二维新材料:石墨烯、二硫化钼等薄膜生长,高校实验室常用设备

🔹硬质涂层研究:刀具模具耐磨涂层、DLC 类金刚石薄膜试样制备

🔹航空航天材料:高温防护涂层、耐腐蚀功能膜的工艺探索

🔹医疗器械:生物兼容涂层的前期实验研发

设备支持中真空 / 高真空选配,电动滑轨设计,温控、气路精准可控,非常适合科研院所、新材料企业做工艺摸索与样品试制。

CVD系统应用领域介绍 (1).jpg

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