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CVD系统是新材料、精密制造领域的关键工艺设备,利用化学气相反应技术,在各类基材表面生成均匀、致密、高强度的功能性薄膜,覆盖绝缘、钝化、耐磨、耐高温、导热、生物兼容六大核心性能。
可用于这些方向:
🔹半导体微电子:制备各类介质薄膜、钝化层,用于功率器件、MEMS 器件研发
🔹光伏新能源:电池钝化、减反薄膜工艺开发,适配 TOPCon、HJT 电池实验
🔹二维新材料:石墨烯、二硫化钼等薄膜生长,高校实验室常用设备
🔹硬质涂层研究:刀具模具耐磨涂层、DLC 类金刚石薄膜试样制备
🔹航空航天材料:高温防护涂层、耐腐蚀功能膜的工艺探索
🔹医疗器械:生物兼容涂层的前期实验研发
设备支持中真空 / 高真空选配,电动滑轨设计,温控、气路精准可控,非常适合科研院所、新材料企业做工艺摸索与样品试制。

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