各类石英材料在半导体工艺制程中的应用与发展趋势

中国粉体网讯  石英材料是半导体制造的核心基础材料，贯穿硅片制造、前道工艺与后道封装全流程，支撑氧化扩散、光刻、刻蚀、薄膜沉积、清洗等关键环节，以高纯度、耐高温、高透光性与化学稳定性保障芯片制程稳定。

半导体用石英主要分为天然石英与合成石英。天然高纯石英经提纯可达4N8–5N，多用于成熟制程的石英舟、炉管、清洗槽等结构件；合成石英纯度可达7N–9N，金属杂质低至ppb级，广泛用于掩模基板、光学透镜、激光退火物镜及先进制程腔体部件，是高端芯片制造的刚需材料。

当前行业呈现三大趋势：一是材料升级，先进制程推动天然石英向高纯度合成石英快速替代，以提升良品率与部件寿命；二是性能极致化，产品向超高纯、无杂质颗粒、高黏度、耐高温、低羟基、高紫外透过方向迭代；三是国产化加速，国内企业依托CVD、VAD、OVD等合成工艺，实现从原材料到精密部件的全链条突破，逐步满足7nm及以下先进制程需求，推动半导体石英材料自主可控。

长飞石英技术（武汉）有限公司，成立于2022年12月，是长飞光纤光缆股份有限公司的子公司，专注于高端石英材料产品研发、生产、检测、销售与服务。长飞石英公司自主掌握多种化学气相沉积、国际主流的合成石英制备工艺及半导体用电熔等天然石英熔制工艺，在产品的物理化学性能、光学性能、几何精度与产品一致性等方面，高纯度、无气泡、高光学均匀性等特性均具备优异的表现水平，可充分满足光学、光通信和半导体行业对高端石英材料在性能与质量方面的严苛需求。

为聚焦高纯石英材料产业升级与国产化突破，2026年4月17日，中国粉体网将在江苏东海举办“2026(第四届)集成电路及光伏用高纯石英材料产业发展大会”。届时，长飞石英技术(武汉)有限公司销售副总监肖畅将带来题为《各类石英材料在半导体工艺制程中的应用与发展趋势》的报告。他将结合长飞石英在高端石英材料领域的技术积累与产业实践，系统解析天然石英与合成石英在半导体制程各环节的应用差异，拆解先进制程对石英材料的关键技术指标要求，并分享国产化替代进程中的技术突破、产品迭代方向与市场发展机遇，为业内同仁提供兼具技术深度与产业价值的实践参考。

肖畅先生多年从事合成石英与天然石英在半导体与光学市场的市场推广与销售工作；2004年进入光通信行业，先后从事国内外光通信网络的市场与销售工作；2019年加入长飞集团，重点从事各类石英材料在各个应用领域的市场开发与销售工作；当前重点深耕石英材料在半导体光学、掩模基板、半导体石英部件、激光、精密光学、航空航天等多个市场；熟悉各类应用对于石英材料的不同技术需求与市场趋势。

参考来源：

中国粉体网；长飞石英官网

长飞石英.石英材料在半导体制造各工艺环节的应用与趋势

(中国粉体网编辑整理/九思)

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