中国粉体网讯 近日,浙江省经济和信息化厅正式发布《重点新材料首批次应用示范指导目录(2025年版)》,目录中涉及高纯石英砂、高纯石英材料、大硅片半导体级合成石英坩埚等材料及相关性能要求。
高纯石英砂
性能要求:SiO2纯度≥99.999%,15种杂质元素的含量总和≤10ppm,Li/Na/K杂质元素含量总和≤1ppm,面积≥0.1cm2的包裹体平均数量≤2个/cm2。
应用领域:光伏、半导体、光纤通信、航空航天领域。
高纯石英砂凭借耐高温、耐腐蚀、高强度、高透光率、低热膨胀系数等卓越性能,成为半导体、光纤通信、光伏、光学、电光源等领域不可或缺的关键材料,更是新一代信息产业、新能源等战略性新兴产业的“基石”。
高纯石英材料
性能要求:结构稳定,精密机械加工后尺寸精度可达±0.002,热加工处理后,应力可以3°以下,材料纯度含量达到99.999%,材料表面不允许有任何有色异物。
应用领域:集成电路制造。
在集成电路制造中,石英法兰、石英坩埚、石英炉管、石英舟架、石英钟罩等高纯石英制品是难以替代的关键部件,广泛用于半导体晶圆制造的扩散、氧化、光刻、刻蚀、清洗等主要流程。
大硅片半导体级合成石英坩埚
性能要求:规格32英寸,内表面各杂质含量≤0.1ppm,透明层微气泡≤1个/mm2,外径公差±1mm,厚度公差±0.75mm。
应用领域:半导体领域单晶硅棒生产。
石英坩埚作为石英玻璃制品的细分品类,虽看似普通,却是半导体产业的“刚需品”。大硅片半导体级合成石英坩埚具备洁净、同质、耐高温等特性,是拉制单晶硅、制作单晶硅片及发展大规模集成电路不可或缺的“载体容器”,主要用于装放多晶硅原料或单晶回收料。
为何要聚焦“大尺寸”?这背后藏着产业降本增效的逻辑:硅片尺寸越大,单片硅片上可制造的芯片数量就越多,单位芯片成本随之降低;同时,圆形硅片制造矩形芯片时,边缘会存在无法利用的区域,硅片尺寸越大,边缘浪费占比越小,进一步提升材料利用率。
参考来源:
浙江省经济和信息化厅;中国粉体网
左政等.石英部件在半导体领域应用及市场概览
(中国粉体网编辑整理/九思)
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