随着科学技术的飞速发展,半导体材料的革新速度也进一步加快。当前,碳化硅作为第三代半导体材料的典型代表,在新能源汽车、光伏、储能等新兴领域正快速渗透,已成为全球半导体产业的前沿和制高点。同时,我国“十四五”规划已将碳化硅半导体纳入重点支持领域,碳化硅半导体将在我国5G基站建设、特高压、城际高速铁路和城市轨道交通、新能源汽车充电桩、大数据中心等新基建领域发挥重要作用。
近年来,我国在SiC材料领域取得了显著进展,但与国际先进水平相比,在晶体生长技术、晶圆加工技术等方面仍存在一定差距。SiC晶体生长过程中面临着晶体缺陷控制、生长速率提升、晶体质量稳定性等难题;晶圆加工方面,则存在加工精度不足、良品率低、加工成本较高等挑战。在当前倡导节能减排的大趋势下,快速稳定地突破碳化硅单晶尺寸和质量等关键问题,才能够更好地占据未来碳化硅市场。
在此背景下,中国粉体网将于2025年8月21日在江苏·苏州举办第三代半导体SiC晶体生长及晶圆加工技术研讨会,大会将汇聚国内行业专家、学者、技术人员、企业界代表围绕晶体生长工艺、关键原材料、生长设备及应用、碳化硅晶片切、磨、抛技术等方面展开演讲交流。苏州博宏源设备股份有限公司作为参展单位邀请您共同出席。
苏州博宏源设备股份有限公司是专业研发及生产单双面研磨、抛光设备的高科技企业,公司总部设在经济发达的长三角经济圈的苏州市渭塘镇爱格豪路22号。在苏州、兰州设有研发中心,拥有各类机加设备近50台套,检测仪器、仪表20余台套,厂房11100余平方米。
公司主要从事高精密的单、双面研磨,抛光设备的研发、制造、销售,自主研发的产品有:32B、28B、24B、22B、20B、18B、16B-5、16B-8、13.9B、13B、15B、16S、9B、6B、485、360等单、双面研磨、抛光机、数控48工位CNC手机面板(玻璃、蓝宝石)高精度外形加工设备及面板自动倒边机。主要用于蓝宝石、蓝玻璃、手机面板、触摸屏、光学光电子、液晶玻璃、半导体、各类晶体、金属等硬脆材料的单、双面高精度的研磨、抛光加工。
公司致力于集设备、工艺、辅料为一体的设备销售业务;提供国内外各厂商生产的研磨,抛光机的备件(齿圈,太阳轮,研盘,齿轮等)销售业务,承揽各类研、抛设备的大修业务。我们将竭诚为客户提供性价比优的产品、快捷的货期及时、周到的服务。
公司凭借雄厚的技术力量、可靠的产品质量及售后服务体系,在国内外拥有多家客户,同时还出口到日本、越南、台湾等国家和地区。
产品介绍
1、SP50-4DU单面抛光机
一、产品用途、适用范围及特点
本机主要用于蓝宝石片状材料的单面抛光以及其它硬脆材料平行平面的单面高精度、高效率抛光。
该机采用触摸界面及PLC控制。为用户提供开放式的图形操控界面,充分发挥机械硬件性能;该机主传动具有传动链短、稳定可靠等特点;四个上抛头主动旋转,压力控制采用电气比例阀任意设定,且每个头均可单独控制;上下抛盘均采用循化冷却水强制冷却,温度控制精确。
二、设备传动结构及布局
Ø 主轴系统位于设备的下方,由电机通过窄V带拖动蜗轮蜗杆减速箱,减速箱与轴直连保证了其运转精度, 下盘采用交叉磙子轴承定位支撑,运转刚度和精度都得到了良好的保障,下盘轴下部装有旋转接头,用于抛盘内通冷却水;
Ø 上抛光系统位于设备的上部,上抛光头的升降及加压由气缸实现,上盘设有冷却水通路用于上抛头的冷却,上抛头的旋转由减速电机通过齿轮直接驱动;
Ø 在下抛盘中间设有可升降的一个中间导轮装置,在接液盆边缘部位设有四个外导轮装置,二者配合可实现工件盘的自动定位;
Ø 在设备的上部横梁正面设有主操作面板,可进行参数设定,运行监控等功能,在横梁的侧面各有两个小操纵板用于上抛头的升降操作;
Ø 在设备后部箱体上装有液路装置,设有上下盘冷却水、抛光液、清洗水的通路;
Ø 在设备的前部箱体与横梁两侧装有前立柱,用于横梁的辅助支撑,立柱高度方向各微调;
Ø 在箱体的右侧设有两个加油口,用于主轴两组轴承的润滑;
Ø 在横梁上装有红外测温装置,用于抛盘盘面温度的监测;
Ø 在下抛盘的外侧设有可滑动的防护罩,可防止工作液的飞溅,减少有害气体的溢出;
2、18BF-4M7D/P双面平面研磨机/抛光机
一、主要用途
主要用于蓝宝石、蓝玻璃、陶瓷片、晶体、半导体及其他硬脆材料的高精度双面研磨抛光。
二、产品特点
1、压力精密控制:PLC+PT+电气比例阀+低摩擦气缸实现高精度压力闭环控制;
2、上盘减震装置:动静态均适用的减震弹性连接方式;
3、下盘支撑:高精度平面流体轴承支撑;
4、销齿传动:内外齿采用销齿传动,延长载体使用寿命,维护便捷;
5、上、下盘水冷系统:上、下盘采用水冷结构,进行温度控制实现大压力加工;
6、上盘压力:最大1000kg;
7、传动系统:四电机同步拖动,上下盘、内齿、外齿、(即可正转,也可反转)转速可任意设定,县有配方功能。
3、SP19-5T(2.5D/3D)高速弧面棱边精密抛光机
一、主要用途:
本设备主要用于2.5D/3D手机视窗玻璃、蓝宝石片、计算机触摸屏、光学玻璃等非金属硬脆材料的棱边及弧面抛光加工。
二、产品特点:
采用高精密压力控制(PLC+PT +电气比例阀+压力传感器实现压力控制)毛刷与工件相对高度,大大提高加工效率与良率,去除速率高,扫光时间短;设备具有真空吸附、释放、自动排水及冲水通道清理功能,使得工件装夹可靠,取放工件操作方便快捷。
会务组
联系人:段经理
电话:13810445572
邮箱:duanwanwan@cnpowder.com
识别二维码了解更多会议信息