随着科学技术的飞速发展，半导体材料的革新速度也进一步加快。当前，碳化硅作为第三代半导体材料的典型代表，在新能源汽车、光伏、储能等新兴领域正快速渗透，已成为全球半导体产业的前沿和制高点。同时，我国“十四五”规划已将碳化硅半导体纳入重点支持领域，碳化硅半导体将在我国5G基站建设、特高压、城际高速铁路和城市轨道交通、新能源汽车充电桩、大数据中心等新基建领域发挥重要作用。
近年来，我国在SiC材料领域取得了显著进展，但与国际先进水平相比，在晶体生长技术、晶圆加工技术等方面仍存在一定差距。SiC晶体生长过程中面临着晶体缺陷控制、生长速率提升、晶体质量稳定性等难题；晶圆加工方面，则存在加工精度不足、良品率低、加工成本较高等挑战。在当前倡导节能减排的大趋势下，快速稳定地突破碳化硅单晶尺寸和质量等关键问题，才能够更好地占据未来碳化硅市场。
在此背景下，中国粉体网将于2025年8月21日在江苏·苏州举办第三代半导体SiC晶体生长及晶圆加工技术研讨会，大会将汇聚国内行业专家、学者、技术人员、企业界代表围绕晶体生长工艺、关键原材料、生长设备及应用、碳化硅晶片切、磨、抛技术等方面展开演讲交流。合肥昱驰真空技术有限公司作为参展单位邀请您共同出席。
合肥昱驰真空技术有限公司是一家致力于将国家科技部重大仪器仪表专项 “超高真空大抽速磁悬浮复合分子泵“科技成果进行转化的高科技企业。 自主创新研制了具有自主知识产权的超高真空大抽速磁悬浮复合分子泵，实现了磁悬浮超高真空分子泵产品的产业化生产， 最终摆脱高端分子泵依赖国进口的现状， 解决了磁悬浮分子泵这一关键部件对我国半导体产业的卡脖子问题。
公司目前拥有一支以教授级高工领头的研发团队， 一支有高级技师带头的技术工人队伍， 在研发、 产业化工程研究及实施方面都有丰富的经验， 凭借在真空领域多年深入地耕耘，熟悉分子泵及真空装备的国内市场动向，有能力快速实现磁悬浮分子泵及真空装备的产业化和市场开拓。目前已引入大唐电信、华润微、长江证券、龙芯中科、国投创业、季华投资、飞图创投等战略投资。
公司的控股子公司北京四海祥云流体科技有限公司是研发生产高真空分子泵的专业厂家， 为双高新企业(国家高新技术企业和中关村高新技术企业)。 在真空产品(包括传统轴承的分子泵)的研发生产方面积累了雄厚的技术经验，而且目前已实现了机械轴承式分子泵的量产和市场推广。
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