湖南长沙索普测控技术有限公司自行研制开发成功离子束轰击溅射薄膜淀积设备(简称纳米薄膜镀膜机),该设备是采用多离子束轰击（或共轰击）靶材以动能转换搬迁靶材原子新技术，将靶材原子逸出来并以纳米级晶粒尺寸的粒子有序淀积形成厚度为几纳米至几微米的纳米粒子薄膜。获得大面积（Φ250mm）非均匀性为±2% ~ ±5%的致密、平整光洁、无污染、内应力小、几乎无缺陷的优质薄膜。广泛用于薄膜材料科学研究、微电子机械二维、三维加工技术研究和各种微电子器件的开发、生产和应用。它与真空蒸发、等离子体溅射（直流、高频磁控溅射）等设备相比具有独特的优点，是当前和未来获得高质量的单质、合金、绝缘介质的单层和多层薄膜的最有前途的薄膜淀积设备。目前，该设备在航天、电子、光学、信息、集成电路、教育、科研等领域发挥积极作用。
