半导体器件设备-硅片显影定影设备
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产品品牌: | 北京华林嘉业科技有限公司 | 产品型号: |
半导体器件设备-硅片显影定影设备 全自动显影机型号:CGB-XXXX—XX系列,品牌:华林嘉业—CGB1.概述:本设备可用于半导体工艺中对2″~8″硅片进行显影和定影,该产品技术先进、一致性强,适用于规模生产。2.整台设备材料均为进口。3.本设备为双排槽构成,每排7槽,各设一套机械手,两排可同时完成相应的工序。4.本设备除装片和取片需人工外,其余工艺动作均可自动完成。5.每槽装片能力:50片/批(2花篮,25片/花篮)。6.工作区洁净度:100级。7.槽间工艺转换时间:Tm
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