CIF透射电镜（TEM）样品杆清洗机采用双等离子清洗源设计，自动切换，一机多用，清洗快速高效、低等离子体轰击损伤，同时可实现常规等离子清洗。核心部件采用国际一流品牌，保证设备优异的质量和稳定性。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏用途。产品特点u双等离子清洗源u远程清洗、检漏两用u快速高效u即插即用技术参数产品型号CIF-TEM真空泵Agilent、IDP-3涡轮式真空干泵**入口压力1.0个大气压（0psig），**出口压力1.4个大气压（6.5psig）**抽速60L/min，极限真空3.3x10-1mbarKF16入口接口等离子电源两种等离子体清洗源，原位等离子源和远程等离子源，自动匹配器13.56MHz等离子RF电源，5-100W可调清洗室清洗室尺寸(长X宽X高)150X150X150mm*多可放置3路TEMhoder，可清洗FEI、JOEL等TEM品牌样品杆气体控制美国MKS数字真空计两路清洗气体控制，可以外接如Ar或O2等清洗气体控制方式7寸全彩触摸屏操控方式，人机互动界面冷却方式风冷电源电源220V、50/60Hz质量保证二年免费，终身维护