编号：FTJS02906
篇名：热处理对红外窗口镀层金属的影响
作者：史梦然； 曹雪峰； 赵建忠；
关键词：热处理； 红外透过窗口； 金属薄膜； 力学特性；
机构： 华北光电技术研究所；
摘要： 采用直流磁控溅射法制备红外透过窗口Ge窗的镀层金属。分别讨论了热处理温度和热处理时间对Ge窗金属化体系力学特性的影响。用纳米压痕仪测试仪测试Ge窗金属化体系的显微力学特性,并用金相显微镜观测金属薄膜的表面形貌,发现退火温度对Ge窗片上的金属薄膜的力学特性有较明显影响。
