编号：FTJS02786
篇名：用脉冲激光沉积法在Al_2O_3上沉积类金刚石薄膜
作者：罗乐； 储雅琼； 秦娟娟； 方晓东； 方尚旭； 陶汝华；
关键词：脉冲激光沉积法； 类金刚石薄膜； 衬底温度； 沉积时间； 黏附性； 微观结构；
机构： 合肥工业大学电子科学与应用物理学院； 中国科学院安徽光学精密机械研究所；
摘要： 为了研究沉积时间和衬底温度对类金刚石薄膜的影响,在用脉冲激光沉积法在Al2O3衬底上制备类金刚石薄膜的实验中,保持其他实验参数不变,先取沉积时间分别为15 min和40 min来沉积薄膜;再取衬底温度分别30℃和300℃来沉积薄膜。用显微镜观察薄膜是否有起皱现象,用Raman光谱仪检测薄膜的微观结构,用原子力显微镜检测薄膜的表面形貌。结果表明:薄膜中存在一些石墨颗粒。沉积时间和衬底温度对薄膜的黏附性和微观结构均有显著影响——延长沉积时间或升高衬底温度都将导致薄膜内的残余应力增加和薄膜起皱。缩短沉积时间或升高衬底温度都将导致薄膜中的sp3/sp2比值减小、非晶态的sp2键向石墨晶相转化、石墨晶粒数量增多,体积增大。最后,根据脉冲激光沉积类金刚石薄膜的机理对实验现象进行了分析。
