编号：CPJS01017
篇名：GDARE法制备不同厚度ZnO薄膜的热电性质
作者：孙海涛； 李成武； 陆慧； 方彬； 林贤； 王艳南； 潘孝仁；
关键词：氧化锌薄膜； 结构； 温差电动势率； 电阻率；
机构： 华东理工大学物理系； 华东理工大学核物理研究所； 华东理工大学材料科学与工程学院；
摘要： 以气体放电活化反应蒸发(GDARE)沉积法通过多次沉积制备不同厚度ZnO薄膜。原子力显微镜和X射线衍射测试分析表明,所得ZnO薄膜具有纳米颗粒多晶结构,粒径在30~70 nm,晶粒尺寸随薄膜厚度增加而增大,不同厚度的薄膜均具有高度的c轴取向性。由GDARE法沉积的ZnO薄膜具有较高的温差电动势率S(Seebeck系数),厚度200 nm的薄膜在440K附近S可达600μV/K。相同温度下,薄膜的温差电动势率S与电阻率ρ均随着膜厚的增加而减小。在考察了薄膜电阻率与温差电动势率的综合影响后,得到在440 K附近,厚度为600 nm的ZnO薄膜具有相对最优秀的热电性能。讨论了ZnO薄膜的表面电传导过程及温差电动势产生机制。
