编号：FTJS01912
篇名：硅粉直接氮化热重实验研究
作者：万金雄； 程乐鸣； 杨春； 朱茜茜； 骆仲泱；
关键词：氮化硅； 硅氮反应； 热重； XRD；
机构： 浙江大学热能工程研究所能源清洁利用国家重点实验室
摘要： 为了研究反应温度、粒径等氮化参数对氮化硅转化率的影响,使用三种不同粒径的硅粉颗粒在热重同步分析仪(TG)中进行了实验研究,并对反应产物进行了X射线衍射(XRD)分析,得到了氮化硅转化率随时间变化曲线。研究结果表明,硅、氮会在1000~1100℃开始发生反应,随后进入动力学控制阶段,该阶段持续5~10 m in,反应速率很快,最后进入反应速度较慢的扩散控制阶段。结果还表明,较小粒径原料和较高的温度对氮化硅转化率有积极影响,而硅粉原料表面的氧化层对硅氮反应有阻碍作用。粒径2.5μm的硅粉在1350℃时,其α相转化率可达75%,总转化率在90%以上。
