编号：FTJS08360
篇名：微波退火和快速热退火下钛调制镍与锗锡反应
作者：刘伟 平云霞 杨俊 薛忠营 魏星 武爱民 俞文杰 张波
关键词： 微波退火 快速热退火 锗锡合金 钛插入层
机构： 上海工程技术大学数理与统计学院 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
摘要： 本文研究了1 nm钛作为插入层的条件下,镍与锗锡合金在不同退火温度下的固相反应,比较了微波退火和快速热退火对镍锗锡化物形成的影响.研究结果表明:在微波退火300℃、快速热退火350℃条件下,可以形成连续平整的镍锗锡薄膜.通过进一步分析镍锗锡薄膜的元素分布,发现1 nm钛插入层发生"层转移"现象,钛在镍与锗锡合金反应后分布在样品的表面,由"插入层"变为"盖帽层";而锡元素因受到金属钛的调制作用,主要分布在镍锗锡薄膜/锗锡衬底的界面.
