编号：CYYJ02348
篇名：氮化铝基板上厚膜电阻性能分析
作者：郝沄 李创 吴鑫 袁海 任英哲 杨春燕
关键词： ALN 厚膜电阻 电阻设计 温度系数 阻值稳定性
机构： 西安微电子技术研究所
摘要： 在AlN基板上,使用IKTS电阻浆料制作了4种方阻的厚膜电阻,确定了AlN基板用电阻的阻值与设计方数的关系,推算出了不同方数下的电阻设计比例。测试了电阻的温度系数,测量结果均小于150×10-6/℃。使用激光调值机对4种方阻的电阻进行调值,经150 ℃、1 000 h高温存储,阻值变化率<1.5%。
