编号：CYYJ02347
篇名：氮化钽薄膜换能元低能化研究
作者：任小明 刘兰 余可馨 解瑞珍 刘卫 薛艳
关键词： 换能元 TaN薄膜 桥区参数 发火感度
机构： 陕西应用物理化学研究所应用物理化学重点实验室
摘要： 为了实现TaN薄膜换能元的低能化,设计制作了不同桥膜厚度、不同桥区尺寸、不同桥区形状的TaN薄膜换能元,依据GJB/z 377A-94感度试验用兰利法,对其进行了发火感度测试。结果表明:当桥区尺寸、形状一定时,随着桥膜厚度的增加,换能元的发火电压先减小后增加,当桥膜厚度为0.9μm时,发火电压最小。通过优化桥区尺寸和桥区形状,获得的TaN薄膜换能元最小平均发火电压低于5V。
