编号：FTJS07768
篇名：不同粒径球形氧化铝的制备及其对蓝宝石的抛光性能研究
作者：张曼
关键词： 球形氧化铝 化学机械抛光 蓝宝石 去除速率 表面粗糙度
机构： 合肥工业大学化学与化工学院
摘要： 采用均匀沉淀法,以硫酸铝、尿素、PEG-2000为原料,通过调整Al^3+浓度制备不同粒径的球形氧化铝。采用X射线衍射仪、扫描电镜对前驱体及氧化铝进行表征。将不同粒径的氧化铝及外购的氧化铝磨料对蓝宝石进行晶片化学机械抛光,利用原子力显微镜检查抛光前后蓝宝石表面粗糙度。结果表明,自制粒径360nm的球形氧化铝具有最好的抛光效果,材料去除率为21.0nm/min,表面粗糙度Ra=0.373nm。
