编号：CPJS03987
篇名：溶胶凝胶制备高阻AZO和电阻率的测试
作者：翟耘萱[1] ;张翼[1] ;于航[1]
关键词：溶胶-凝胶 氧化锌混合氧化铝薄膜薄膜 微通道板导电层
机构： [1]长春理工大学理学院,吉林长春130022
摘要： 氧化锌混合氧化铝薄膜是由导体的氧化锌和绝缘体的氧化铝充分混合而成的复合材料。随着氧化锌和氧化铝的组成变化，氧化锌混合氧化铝薄膜的电阻率可以在10^-2Ωcm到10^16Ωcm变化。氧化锌混合氧化铝薄膜出现为微通道板打拿极导电层提供了一种新的材料选择。以二水合乙酸锌和六水合氯化铝为前驱物，用溶胶-凝胶的方法制备四个组分的氧化锌混合氧化铝薄膜样品。用原子力显微镜和伏安法测方块电阻的方式对薄膜的表面形貌和电阻率表征。最后对测试的电阻数据进行拟合，得到样品铝含量和样品电阻率的关系曲线。
