编号：NMJS05049
篇名：新型纳米加工技术的研究
作者：朱团； 王英； 刑艳； 刘立红； 郭双林；
关键词：纳米材料； 自组装； 纳米加工技术； 研究；
机构： 黑河学院物理化学系； 上海交通大学微纳科学技术研究院； 东北师范大学化学学院胶体与界面研究所；
摘要： 新型纳米加工技术是近几年迅速发展并取得突破性进展的一种纳米制造技术,利用无机纳米材料及无机—有机纳米复合图形材料制备纳米图形化掩模,结合纳米刻蚀技术实现小于30 nm的图形结构制备。克服了传统光刻技术对尺寸的限制和电子束光刻等在设备和生产速度上的限制,为从宏观到微观纳米图形制作开辟了新途径。通过新型纳米加工技术的研究,克服了传统光刻技术对尺寸的限制和电子束光刻等在设备和生产速度上的限制,为从宏观到微观纳米图形制作开辟了新途径。
