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高纯钼溅射靶材的研究现状及发展趋势

编号:CPJS02504

篇名:高纯钼溅射靶材的研究现状及发展趋势

作者:杨帆; 王快社; 胡平; 何欢承; 康轩齐; 王华; 刘仁智;

关键词:钼; 溅射靶材; 现状; 发展趋势;

机构: 西安建筑科技大学冶金学院; 西安电炉研究所有限公司; 金堆城钼业股份有限公司;

摘要: 对高纯钼溅射靶材的国内外研究现状进行了介绍,对高纯钼溅射靶材急需解决的几个问题和发展趋势做了探讨,并且对其今后的研究和发展提出了建设性意见。

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