编号：FTJS04443
篇名：钨金属化氧化铝陶瓷基片的脱脂工艺研究
作者：蒋文娟； 孟凡涛； 潘光慎； 王珊； 单连聚
关键词：氧化铝陶瓷基片； 金属化； 脱脂
机构： 山东理工大学材料科学与工程学院
摘要： 采用热分析、显微分析、扫描电镜分析等方法对样品进行检测,研究了钨金属化氧化铝陶瓷基片的脱脂工艺,确定了合理的脱脂升温制度和脱脂气氛。结果表明,脱脂升温速率为1~2℃/min,并于215℃、350℃保温15min,脱脂后样品光滑平整,宏观无缺陷;湿氢气气氛下脱脂可以将有机成分完全排除,避免了出现碳残余、金属化层被氧化以及脱层等问题。
