编号：NMJS04895
篇名：飞秒四光束干涉技术加工石墨烯纳米网
作者：李艳； 陈辉； 代克杰
关键词：石墨烯； 纳米网； 飞秒激光； 四光束干涉； 微纳加工；
机构： 平顶山学院电气信息工程学院 高压智能开关工程技术研究中心；
摘要： 由于石墨烯的特殊半导体性质,实现其在电子器件中实际应用的关键是对石墨烯层进行微纳结构处理。简单介绍了飞秒四光束干涉技术应用于石墨烯微纳加工的优势。对实现飞秒四光束干涉的两种实验方法进行了介绍并比较。然后选用改进的衍射分束方法对石墨烯进行加工,得到规则的二维纳米网结构,网线的最小宽度可达600 nm左右。与Matlab理论模拟的四光束干涉花样进行比较,通过调整干涉光束的能量,使得加工的结构更加规则,和理论花样十分吻合。该方法将对石墨烯微纳结构处理及其在集成微电子器件中的应用带来新的思路。
