编号：CPJS01925
篇名：氧化镍薄膜阻变特性研究进展
作者：李建昌； 王玉磊； 侯雪艳； 徐彬； 巴德纯；
关键词：氧化镍薄膜； 阻变特性； 开关机理； 器件结构； 导电细丝；
机构： 东北大学机械工程与自动化学院 真空与流体工程研究中心；
摘要： 氧化镍薄膜因非挥发性、低功耗、开关重复性好及阻值窗口大等优势而成为广泛研究的阻变材料之一。本文从器件结构、阻变机理及影响因素等方面,综述了氧化镍薄膜阻变特性研究进展。结果表明:氧化镍薄膜阻变机理主要为金属细丝或空位细丝,但有关细丝形成条件仍无定论;引入PN结的夹层薄膜结构因形成界面缺陷可使开关比提高三个数量级到105;高价元素替位掺杂致薄膜内Ni0浓度增大而降低其阻变离散性;薄膜厚度及退火温度与时间可明显影响其阻变阈值电压。目前有关氧化镍薄膜阻变特性研究较多,下一步可将小尺度器件、低功耗及高密度集成纳米晶阻变特性作为研究方向,深入讨论其阻变机理。
