编号：NMJS04638
篇名：SrTiO_3薄膜的制备及其性能表征
作者：常亮亮；
关键词：SrTiO3薄膜； 溶胶-凝胶法； 介电常数；
机构： SrTiO3薄膜； 溶胶-凝胶法； 介电常数；
摘要： 以Sr(OOCCH3)2·H2O,Ti(OC4H9)4为原料,用溶胶-凝胶工艺成功地进行了STO薄膜的制备,溶胶薄膜经过575℃-725℃/60 min退火形成立方钙钛矿结构。用XRD、SEM等进行了结构和形貌表征,证明了该薄膜是纳米晶体结构,制定了SrTiO3薄膜的最佳退火工艺。STO薄膜的介电特性分析:在100 kHz下,室温时,STO薄膜的介电常数为475而介电损耗为0.050。
