编号：NMJS04519
篇名：二氧化钒纳米孔洞薄膜的光学特性
作者：梁倩； 李毅； 方宝英； 严梦； 王锋； 覃源； 丁杰； 佟国香； 王晓华； 陈少娟； 陈建坤； 郑鸿柱； 袁文瑞
关键词：二氧化钒； 薄膜； 孔洞； 有效介质理论； 透过率
机构： 上海理工大学； 上海市现代光学系统重点实验室； 上海电力学院
摘要： 为了进一步改善二氧化钒(VO2)薄膜的光学特性,基于有效介质近似理论和VO2在不同温度和波长下的折射率和消光系数,建立了研究VO2纳米周期孔洞薄膜光学特性的数学模型。采用磁控溅射和氧化退火方法,先在石英衬底上制备VO2薄膜,再经多孔氧化铝掩膜和离子束刻蚀工艺,制备了VO2纳米孔洞薄膜。结果表明,随着孔隙率的增加,反射率最低点向短波长移动。与在石英衬底上制备的VO2薄膜相比,VO2纳米孔洞薄膜的透过率明显优于VO2薄膜,在红外区域透过率提高了20%,具有较好的热致变色特性和应用潜力。
