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Stber法制备二氧化硅薄膜反应动力学

编号:FTJS03643

篇名:Stber法制备二氧化硅薄膜反应动力学

作者:商孟莹; 蒋晓东; 刘淼; 罗炫; 唐永建; 曹林洪

关键词:溶胶-凝胶; 反应动力学; 单分散二氧化硅; 转化率; 反应时间

机构: 西南科技大学四川省非金属复合与功能材料重点实验室-省部共建国家重点实验室培育基地; 西南科技大学极端条件物质特性实验室; 中国工程物理研究院激光聚变研究中心

摘要: 通过研究正硅酸乙酯(TEOS)水解的反应动力学,推导出Stber法制备二氧化硅溶胶体系中反应时间与TEOS转化率关系的动力学公式。分析确定了合适的转化率,进而用于计算二氧化硅溶胶的理论最佳反应时间。同时,以正硅酸乙酯为硅源,采用溶胶凝胶法在氨水催化作用下制备了不同配比的二氧化硅溶胶,考察了氨和水的浓度对反应时间的影响,结果表明,两者浓度增大可以有效减少反应时间。通过成膜性检测确定制备过程中的最佳反应时间,并与理论计算得到的最佳反应时间进行比较,结果表明,两者一致,误差控制在5%以内,说明该动力学公式具有很好的适用性。

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