编号：CSJS00088
篇名：SiO_2钝化膜中钠离子的二次离子质谱分析
作者：马农农； 何友琴； 王东雪； 陈潇；
关键词：钝化膜； 钠离子浓度； 二次离子质谱分析；
机构： 中国电子科技集团公司第四十六研究所；
摘要： 采用二次离子质谱分析手段,检测半导体晶片SiO2钝化膜中钠离子的浓度分布,采用标样法,计算得出相对灵敏度因子,给出浓度随深度的定量测试结果 ,结果表明,该方法检测灵敏度较高,既给出钠离子在钝化膜中的分布,也可以得到面密度,并研究了钠离子的分布特点。
