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产品描述
TMC的主动隔振实验台具有先进的隔振性能。通过采用新型CSP®(紧凑型亚赫兹钟摆隔离系统)进行水平减振以及PEPS-VX®惯性阻尼器进行垂直减振,我们生产出一种性能优越的六自由度超净实验桌。
这个先进的隔离技术可以与TMC光学平台或其他TMC产品结合使用,同样也可以被设计用于OEM应用以及设备。
在2Hz时,垂直隔振10 dB以及水平隔振20dB(此振动频率下其他实验台会放大振动)的特性,使此主动隔振实验台对于振动环境异常严重的大部分应用都是理想的。
应用包括:
?原子力显微镜
?扫描探针显微镜
?商业干涉仪
?电生理学记录
?半导体检测设备
基本参数
隔离器固有频率(低输入)
垂直方向=0.5Hz,水平方向=0.5Hz
隔离器效率@2HZ
垂直方向=10dB 水平方向=20dB
推荐负载能力:545Kg
整体材料:不锈钢平台, 黑色氧化处理中等材料框架
船运重量:544kg
特性
?用于距离隔离表面1微米的非接触式高度控制的pepS®II精密电子定位系统
?PEPS-VX®隔振配合peps用于三个自由度的低频隔振
?桌面式配置的刚性钢框架结构
?高阻尼、高刚度的2in.厚的不锈钢层压板
?平台可选的螺纹孔网格