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技术文章
一种钼铌合金溅射靶材的制备工艺
上海矽诺国际贸易有限公司2020-11-04点击973次
(1)将钼粉和铌粉(纯度均为≥99 .95%,粒径分别为25μm和40μm)按照重量比为10:1的比例装入球磨机中,然后加入硬脂酸乙酯和氧化锆磨球(粒径1 .5mm),在氩气保护下进行球磨,所述的球磨时间为150min,球磨转速为800r/min,过筛,分离得到粒径为8μm钼铌合金复合粉末;
所述硬脂酸乙酯、氧化锆磨球的重量分别为钼粉和铌粉总重量的0 .05、20倍;
(2)将步骤(1)钼铌合金复合粉末抽真空处理,接着进行冷等静压成型,冷等静压的压力为250MPa,保压时间为6min,得到压制毛坯;
(3)将压制毛坯在真空烧结炉中进行烧结成型,烧结温度为2200℃,烧结时间5 h,得到靶材毛坯;
(4)将靶材毛坯经过机械加工得到产品钼铌合金溅射靶材,钼铌合金溅射靶材为单一物相组织,组织均匀无孔洞,平均晶粒尺寸65μm,密度9 .86g/cm3。