l 原子及近原子尺度制造: ACSM
l 原子选择刻蚀技术: Atom-selective Etching
l 原子迁移制造技术: Atom-migration Manufacturing

南方科技大学机械与能源工程系长聘副教授，博士生导师。邓辉博士2017年加入南方科技大学后建立"等离子体先进制造实验室-APMLab"。本团队致力于创新性超精密制造技术的研究，为制造技术向原子精度的突破贡献力量。
实验室研究聚焦于两点：其一、以原子尺度物理化学反应为核心技术手段，开发非应力式原子级材料去除新方法，实现微观尺度的原子级精度制造；其二、以加工算法为基础，研究加工过程的量化控制与预测等关键技术问题，实现宏观尺度的纳米级精度制造。